[发明专利]碳薄膜及其制造方法有效
申请号: | 200880115404.8 | 申请日: | 2008-11-05 |
公开(公告)号: | CN101848861A | 公开(公告)日: | 2010-09-29 |
发明(设计)人: | 新田祐树;中谷达行;冈本圭司 | 申请(专利权)人: | 东洋先进机床有限公司 |
主分类号: | C01B31/02 | 分类号: | C01B31/02 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 刘多益 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明公开了一种碳薄膜及其制造方法。碳薄膜以形成在基材表面的碳薄膜为对象。包括碳碳键合的碳骨架及与构成碳骨架的碳键合的氨基。 | ||
搜索关键词: | 薄膜 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种碳薄膜,其特征在于:包括:碳相互键合的膜主体,以及与构成所述膜主体的碳键合的氨基。
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