[发明专利]生产与控制电子组件的板或晶片的方法与设备无效
申请号: | 200880115779.4 | 申请日: | 2008-03-05 |
公开(公告)号: | CN101855603A | 公开(公告)日: | 2010-10-06 |
发明(设计)人: | 安德烈亚·贝茨尼 | 申请(专利权)人: | 应用材料意大利唯一股东有限公司 |
主分类号: | G05B19/418 | 分类号: | G05B19/418 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 意大利圣比亚*** | 国省代码: | 意大利;IT |
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摘要: | 本发明公开一种用于生产与控制电子组件的板的方法,包括一第一步骤,其借助定位构件将一平板定位于一加载台。一第二步骤,其放置该平板于一沉积台,该沉积台与一用于沉积金属或其它材料的单元相关联,在此单元中,在该平板上沉积该金属,以根据一预定及期望拓扑布置,在这些平板上产生金属线路;一第三步骤,其放置该平板于一退出台,及致动一检测构件,以检测该平板中是否存在缺陷;以及一第四步骤,其将该平板从该退出台释出。在该第一步骤中,致动该检测构件,以识别被放置于该加载台的平板上的缺陷。在该第二步骤中,如果该检测构件在该第一步骤中没有在该平板上检测到任何缺陷,则致动该沉积单元,以便在该平板上沉积该金属。 | ||
搜索关键词: | 生产 控制 电子 组件 晶片 方法 设备 | ||
【主权项】:
一种生产及控制电子组件的板(12)的方法,包括:一第一步骤,其借助定位构件(34)将一平板(12)定位于一加载台(16);一第二步骤,其放置该平板(12)于一沉积台(18),该沉积台(18)与用于沉积金属或其它材料的一单元(20)相关联,在该单元(20)中,在该平板(12)上沉积该金属或其它材料,以根据一预定及期望拓扑布置,在这些平板(12)上产生由金属或其它材料制成的线路;一第三步骤,其放置该平板(12)于一退出台(24),且致动一检测构件(30),以检测该平板(12)中是否存在缺陷;以及一第四步骤,其将该平板(12)从该退出台(24)释出,其特征在于:在该第一步骤中致动该检测构件(30),以识别放置在该加载台(16)的该平板(12)中的缺陷;并且当该检测构件(30)在该第一步骤中未在该平板(12)上检测到任何缺陷,则在该第二步骤中致动该沉积单元(20),以在该平板(12)上沉积该金属或其它材料。
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