[发明专利]对三维形状的工件进行的溅镀成膜方法及用于该方法的装置有效
| 申请号： | 200880116299.X | 申请日： | 2008-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN101855382A | 公开（公告）日： | 2010-10-06 |
| 发明（设计）人： | 堀江邦明;高桥直树;吉冈润一郎 | 申请（专利权）人： | 荏原优莱特科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种对复杂的三维形状工件也可以将溅镀粒子均匀地成膜的溅镀技术。该技术为通过对靶材进行溅镀，在安装于与所述靶材对向设置且旋转的转盘式工件夹具上的三维形状的工件进行成膜的方法，其特征在于：使所述具有三维形状的工件以位于连接所述靶材与转盘式工件夹具的旋转轴的平面的垂直面内的轴旋转，并且，在整个溅镀时间中的至少一部分时间之内，使从所述靶材飞散的溅镀粒子的主飞散方向偏心于所述转盘式工件夹具的旋转轴中心方向。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 形状 工件 进行 溅镀成膜 方法 用于 装置 | ||
【主权项】：
一种对三维形状的工件进行的溅镀成膜方法，通过对靶材进行溅镀，对安装于与所述靶材对向设置且旋转的转盘式工件夹具上进行成膜，其特征在于：使所述三维形状的工件以位于连接所述靶材与转盘式工件夹具的旋转轴的平面的垂直面内的轴旋转，并且，在整个溅镀时间中的至少一部分时间之内，使从所述靶材飞散的溅镀粒子的主飞散方向偏心于所述转盘式工件夹具的旋转轴中心方向。
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