[发明专利]溅镀装置及溅镀成膜方法有效
申请号: | 200880116429.X | 申请日: | 2008-11-06 |
公开(公告)号: | CN101855383A | 公开(公告)日: | 2010-10-06 |
发明(设计)人: | 堀江邦明;高桥直树 | 申请(专利权)人: | 荏原优莱特科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种溅镀装置,其即使将塑料等耐热性低的材料作为工件而通过溅镀成膜时,也能够抑制热电子射入工件,因此不会发生因热量而导致工件变形等问题。所述溅镀装置在真空腔室内具备靶材、设置成与所述靶材对向且具有旋转轴的转盘式工件夹具,其特征在于,所述转盘式工件夹具具备工件夹具支撑部和多个工件保持部,所述工件保持部设置在所述工件夹具支撑部的外周部,所述转盘式工件夹具和/或工件保持部被设置成能够以位于连接靶材与转盘式工件夹具的旋转轴的平面的垂直面内的轴旋转,在所述转盘式工件夹具的内侧设置有热电子捕获部件。 | ||
搜索关键词: | 装置 溅镀成膜 方法 | ||
【主权项】:
一种溅镀装置,在真空腔室内具备靶材、设置成与所述靶材对向且具有旋转轴的转盘式工件夹具,其特征在于,所述转盘式工件夹具具备工件夹具支撑部和多个工件保持部,所述工件保持部设置在所述工件夹具支撑部的外周部,所述转盘式工件夹具和/或工件保持部被设置成能够以位于连接所述靶材与所述转盘式工件夹具的旋转轴的平面的垂直面内的轴旋转,在所述转盘式工件夹具的内侧设置有热电子捕获部件。
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