[发明专利]利用线锯的工件的切断方法及线锯有效
| 申请号： | 200880116667.0 | 申请日： | 2008-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN101861230A | 公开（公告）日： | 2010-10-13 |
| 发明（设计）人： | 北川幸司;加藤忠弘;糸井征夫;须藤富一 | 申请（专利权）人： | 信越半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/06 | 分类号： | B24B27/06;B28D5/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 郑小军;冯志云 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明是一种线锯，通过将切断用钢线卷绕在多个滚筒的周边上而形成钢线列，所述切断用钢线在轴方向被往复驱动，一边供给浆液至该切断用钢线，一边对于所述钢线列切入进给工件，由此将该工件同时在轴方向并列的多处切断，其特征在于：该线锯控制成为在所述工件切断后，在由所述钢线列拔出该工件时，一边使钢线以2m/min以下的速度行进，一边拔出工件。由此提供一种线锯，利用简单的结构，便不会对于通过线锯的钢线列切断的工件的切断面造成不良影响，而从所述钢线列拔出已经完成切断的工件。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 工件 切断 方法 | ||
【主权项】：
一种利用线锯的工件的切断方法，通过将切断用钢线卷绕在多个滚筒的周边上而形成钢线列，所述切断用钢线在轴方向被往复驱动，一边供给浆液至该切断用钢线，一边向所述钢线列切入进给工件，由此将该工件同时在轴方向并列的多处切断，其特征在于：在所述工件切断后，在从所述钢线列拔出该工件时，一边以2m/min以下的速度使钢线行进，一边拔出工件。
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