[发明专利]激光加工装置

摘要

本发明公开一种激光加工装置。所述激光加工装置包括激光共振腔、光学系统、腔室、反射器以及激光束校准单元。所述激光共振腔使激光束产生共振。所述光学系统将经由所述激光共振腔而共振的所述激光束转化为具有预定光束宽度的光束剖面的能量密度。经由所述光学系统转化的所述激光束辐照到放置在所述腔室中的加工物体上。所述反射器被放置在所述激光共振腔和所述腔室之间，以反射所述激光束。所述激光束校准单元校准辐照到所述腔室中的所述激光束。所述激光束校准单元包括：校准单元，所述校准单元被安装在所述反射器和所述加工物体之间，并且所述校准单元被放置在所述激光束的传播路径中。所述校准单元界定了面积大于所述激光束的横截面的通孔，以使得所述激光束可以穿过所述通孔。所述驱动器驱动所述反射器，以控制经由所述反射器反射的所述激光束的传播路径。所述控制器控制所述驱动器，从而，基于当所述激光束穿过校准单元的通孔时所检测到的所述激光束来控制所述激光束的中心与所述通孔的中心之间的距离。

主权项

一种激光加工装置，包括：激光共振腔，所述激光共振腔使激光束产生共振；光学系统，所述光学系统将经由所述激光共振腔而共振的所述激光束转化为具有预定光束宽度的光束剖面的能量密度；腔室，在所述腔室中，由所述光学系统转化的所述激光束辐照到放置在所述腔室中的加工物体上；反射器，所述反射器被放置在所述激光共振腔和所述腔室之间，以反射所述激光束；以及激光束校准单元，所述激光束校准单元校准辐照到所述腔室中的所述激光束，其中，所述激光束校准单元包括：校准单元，所述校准单元被安装在所述反射器和所述加工物体之间，并且所述校准单元被放置在所述激光束的传播路径中，所述校准单元界定面积大于所述激光束的横截面的通孔，以使得所述激光束可以穿过所述通孔；驱动器，所述驱动器驱动所述反射器，以控制经由所述反射器反射的所述激光束的传播路径；以及控制器，所述控制器控制所述驱动器，从而，基于当所述激光束穿过校准单元的通孔时所检测到的所述激光束来控制所述激光束的中心与所述通孔的中心之间的距离。