[发明专利]增加设置在照射设备中的聚集器光学器件的操作寿命的方法及相应的照射设备无效
| 申请号： | 200880117271.8 | 申请日： | 2008-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN101868764A | 公开（公告）日： | 2010-10-20 |
| 发明（设计）人： | P·辛克 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 龚海军;刘鹏 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种增加设置在照射设备中的聚光器单元(33)的操作寿命的方法。照射设备至少包括发射光学辐射特别是极紫外辐射或软X射线的辐射源(1)，所述辐射源(1)生成与聚光器单元(33)的光学表面碰撞的物质和/或粒子，聚光器单元形成由所述辐射源(1)发射的所述辐射的一部分的辐射束；和被设置在辐射源(1)和所述聚光器单元(33)之间的碎片减缓单元(37)。在所建议的方法中，聚光器单元(33)在设备的操作期间和/或操作间歇中被移动，使得与没有这样的移动相比，由所述物质和/或粒子与聚光器单元(33)的所述光学表面的碰撞引起的沉积或老化效果在所述光学表面上被分布得更均匀。利用该方法和相应的设备，聚光器单元的光学表面更均匀地老化，从而增加了该聚光器单元的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 增加 设置 照射 设备 中的 聚集 光学 器件 操作 寿命 方法 相应 | ||
【主权项】：
一种增加设置在照射设备中的聚光器单元(3，6)的操作寿命的方法，所述照射设备至少包括-发射光学辐射特别是极紫外辐射或软X射线的辐射源(1)，所述辐射源(1)生成与所述聚光器单元(3，6)的光学表面碰撞的物质和/或粒子，-所述聚光器单元(3，6)，其形成由所述辐射源(1)发射的所述辐射的一部分的辐射束，和-碎片减缓单元(37)，其减少与所述聚光器单元(3，6)的光学表面碰撞的所述物质和/或粒子的量，所述方法包括在所述设备的操作期间和/或在操作间歇中移动所述聚光器单元(3，6)，使得与没有这样的移动相比，由所述物质和/或粒子与所述聚光器单元(3，6)的所述光学表面的碰撞引起的沉积或老化效果在所述光学表面上被分布得更均匀。
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