[发明专利]具有电容式微机械超声波换能器的超声波扫描设备

摘要

本发明提供了超声波扫描设备和超声波扫描设备的制造方法，该方法的一个实施方式包括，将柔性电子器件(如集成电路)、柔性超声波换能器(如圆形CMUT阵列的一部分)和柔性构件集成。该集成电路、换能器和柔性构件可形成以柔性子组件，该子组件被卷起以形成超声波扫描设备。集成电路和换能器的集成可同时发生。可选地，电子设备的集成可发生在换能器的集成之前。另外，换能器的集成可包括使用半导体技术。而且，卷起的子组件可形成管腔或可被接合到管腔。该方法可包括折叠柔性子组件的一部分，以形成前视换能器。一些子组件的柔性构件可以包括一对支架。

主权项

一种方法，其用于制造基于导管的医疗设备，所述方法包括：将电子电路和柔性构件集成；将超声波换能器和所述柔性构件集成，所集成的电子电路、超声波换能器和柔性构件成为柔性子组件；将所述柔性子组件成形为超声波扫描设备；和将所述超声波扫描设备接合到所述导管上。