[发明专利]剥离液组合物、使用了该剥离液组合物的树脂层的剥离方法有效
| 申请号： | 200880118038.1 | 申请日： | 2008-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN101878452A | 公开（公告）日： | 2010-11-03 |
| 发明（设计）人： | 金成正夫;佐口琢哉 | 申请（专利权）人： | 汉高公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;H01L21/027;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 王健 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供剥离液组合物，其对滤色器、光刻胶、罩面层等树脂层的剥离性优异，兼具对于金属配线等包含金属类的构件的防蚀作用。该剥离液组合物含有链烷醇胺类、芳香族醇类和防蚀剂。 | ||
| 搜索关键词： | 剥离 组合 使用 树脂 方法 | ||
【主权项】：
剥离液组合物，其用于剥离树脂层，含有链烷醇胺类、芳香族醇类和防蚀剂的组合。
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