[发明专利]短相干干涉仪

摘要

本发明涉及一种用于测量样品(P)的彼此轴向间隔设置的多个区域(T1，T2)的短相干干涉仪，所述样品(P)特别地为眼睛(A)，所述干涉仪包括至少一个测量束路径和一个参考束路径(R)，多个单独的测量束通过所述至少一个测量束路径而入射在所述样品(P)上，参考束通过所述参考束路径(R)而被导引，单独的测量束(M1，M2)与所述参考束路径叠加且引起干涉，其中所述单独的测量束(M1，M2)在被入射到所述样品(P)上时相对于彼此轴向偏移，偏移量适应于轴向间隔(d)，并且所述干涉仪设备(I)使每个单独的测量束(M1，M2)以干涉的方式与所述参考束叠加且将所述束导引到与各自的测量束相关联的检测器(D1，D2，…DN)，其中所述单独的测量束(M1，M2，…MN)被组合成与所述参考束叠加的混合束，在所述混合束中，所述测量束具有不同的相位。

主权项

一种用于测量样品(P)的多个轴向间隔的区域(T1，T2)的短相干干涉仪设备，所述样品(P)特别地为眼睛(A)，所述设备具有至少一个测量束路径和一个参考束路径(R)，多个单独的测量束通过所述测量束路径而入射在所述样品(P)上，参考辐射通过所述参考束路径(R)而被导引，所述参考辐射与单独的测量束(M1，M2)叠加且与所述单独的测量束的干涉，其中所述单独的测量束(M1，M2)在入射到所述样品(P)上时彼此轴向偏移，偏移量适应于轴向间隔(d)，并且其中所述干涉仪设备(I)具有叠加装置(K，K1，K2)，所述叠加装置(K；K1，K2)使每个从所述样品返回的单独的测量束(M1，M2)与所述参考辐射叠加以引起干涉，其特征在于，所述叠加装置(K；K1，K2)具有多个输出(III，V)，每个输出(III，V)馈送检测器(D1，D2)，其中所述叠加装置(K；K1，K2)接收用于与所有单独的测量束(M1，M2)叠加的相同参考辐射，在每个输出(III，V)处输出与所述参考辐射叠加的多个单独的测量束(M1，M2)的混合束，每个混合束包含以变化的相位调整与所述参考束叠加的各个比率的所述单独的测量束(M1，M2)。