[发明专利]探针卡无效
| 申请号： | 200880118544.0 | 申请日： | 2008-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN101883987A | 公开（公告）日： | 2010-11-10 |
| 发明（设计）人： | 米泽俊裕;高濑慎一郎 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 柳春雷;南霆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的探针卡包括：支承板，支承与被检查体接触的探针；电路基板；保持部件，保持支承板的外周部的下表面；以及抵接部件，被配置在保持部件与支承板的外周部的下表面之间，并向上方突出而与支承板的外周部的下表面抵接。因而，容许了支承板自身向水平方向膨胀，当检查被检查体的电特性时，即使是在支承板的温度上升并膨胀的情况下，也能够使膨胀部分在水平方向上膨胀，从而能够抑制支承板在铅垂方向上变形。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 | ||
【主权项】：
一种探针卡，用于检查被检查体的电特性，所述探针卡包括：电路基板；支承板，被配置在所述电路基板的下表面侧，并支承与被检查体接触的接触件；保持部件，保持所述支承板的外周部的下表面；以及抵接部件，被配置在所述保持部件与所述支承板的外周部的下表面之间，并向上方突出而与所述支承板的外周部的下表面抵接。
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