[发明专利]使用图案化蚀刻剂物质以形成太阳能电池接点的工艺

摘要

本发明的实施方式预期了使用新颖方法以形成高效率太阳能电池，而该方法是形成太阳能电池元件的主动区及金属接点结构。在一实施方式中，该方法包括使用多种蚀刻及图案化工艺，这些工艺是用以界定穿过覆盖太阳能电池基板的表面的毯覆介电层的点触。该方法一般包括沉积一蚀刻剂物质，而该物质是使得在介电层中形成所需图案，且通过该图案可形成至太阳能电池元件的电性接点。

主权项

一种形成太阳能电池元件的方法，包括：在一基板的表面上形成一介电层；将一蚀刻剂物质设置在该介电层的多个区域上；加热该基板至一所需温度，以使得该蚀刻剂物质将这些区域中的至少一部分的介电层移除，以暴露该基板表面的多个区域；以及在该表面的这些暴露的区域上沉积一导电层。