[发明专利]电子材料用清洗剂和清洗方法有效
申请号: | 200880119796.5 | 申请日: | 2008-11-17 |
公开(公告)号: | CN101888906A | 公开(公告)日: | 2010-11-17 |
发明(设计)人: | 胜川吉隆;铃木一充;佐藤祥平 | 申请(专利权)人: | 三洋化成工业株式会社 |
主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;C11D3/30;C11D3/43;H01L21/304;B08B3/10;B08B3/12;C11D1/02;C11D3/04 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 张淑珍;王维玉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种电子材料用清洗剂,其中,所述清洗剂含有阴离子成分由通式(1)表示的阴离子型表面活性剂(A)、碳原子数6~18的链烯、以及选自于由通式(2)表示的有机溶剂构成的组中的1种以上的有机溶剂(B),上述(B)的SP值为6~13。R1[-(OA1)a-Q-]b (1),式(1)中,R1为碳原子数1~10的烃基,A1为碳原子数2~4的亚烷基,Q-为-COO-、-OCH2COO-、-SO3-、-OSO3-或-OPO2(OR2)-,R2为氢或碳原子数1~10的烃基,a为平均值0~20,b为1~6的整数,Q-为-COO-或-SO3-时a为0。R3[-(OA2)c-OH]d (2),式(2)中,R3为碳原子数1~12的烃基,A2为碳原子数2~4的亚烷基,c为平均值0~20,d为1~6的整数。 | ||
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【主权项】:
一种电子材料用清洗剂,其中,所述清洗剂含有阴离子成分由通式(1)表示的阴离子型表面活性剂(A)、碳原子数6~18的链烯、以及选自于由通式(2)表示的有机溶剂构成的组中的1种以上的有机溶剂(B),上述(B)的SP值为6~13;R1[-(OA1)a-Q-]b (1)式(1)中,R1为碳原子数1~10的烃基,A1为碳原子数2~4的亚烷基,Q-为-COO-、-OCH2COO-、-SO3-、-OSO3-或-OPO2(OR2)-,R2为氢或碳原子数1~10的烃基,a为平均值0~20,b为1~6的整数,Q-为-COO-或-SO3-时a为0;R3[-(OA2)c-OH]d (2)式(2)中,R3为碳原子数1~12的烃基,A2为碳原子数2~4的亚烷基,c为平均值0~20,d为1~6的整数。
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