[发明专利]压差测量单元有效
申请号: | 200880120505.4 | 申请日: | 2008-12-12 |
公开(公告)号: | CN101896802A | 公开(公告)日: | 2010-11-24 |
发明(设计)人: | 沃尔夫冈·丹豪尔;迈克尔·菲利普斯;弗里德里希·施瓦贝;迪特尔·施托尔塞;英·图安·塔姆 | 申请(专利权)人: | 恩德莱斯和豪瑟尔两合公司 |
主分类号: | G01L9/00 | 分类号: | G01L9/00;G01L19/06 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 邹璐;樊卫民 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 一种压差测量单元(1),用于检测第一压力和第二压力之间的压力差,具有:弹性测量系统,其带有至少一个具有硅的测量薄膜(4,203,205);至少一个承载体(2,5,204),其与弹性测量系统压密地相连;第一液压路径,用于将第一压力传递到弹性测量系统的第一表面部分上;第二液压路径,用于将第二压力传递到弹性测量系统的第二表面部分上;其中第一压力与第二压力相对地作用,并且测量系统的弹性偏转是第一和第二压力之间的差的量度;其中压差测量单元还具有至少一个液压节流门(9,10,211),其特征在于,至少一个液压节流门包括多孔硅。 | ||
搜索关键词: | 测量 单元 | ||
【主权项】:
压差测量单元(1;101;201),用于检测第一压力和第二压力之间的压力差,包括:‑弹性测量系统,其带有至少一个具有硅的测量薄膜(4;103;105;203;205);‑至少一个承载体(2;5;102;104;106;204),其与弹性测量系统压密地相连;‑第一液压路径,用于将第一压力传递到弹性测量系统的第一表面部分上;‑第二液压路径,用于将第二压力传递到弹性测量系统的第二表面部分上;其中第一压力与第二压力相对地作用,并且测量系统的弹性偏转是第一和第二压力之间的差的量度;其中压差测量单元还具有至少一个液压节流门(9;10;107;108;211),其特征在于,所述至少一个液压节流门包括多孔硅。
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