[发明专利]图案间特征对应设备、其图案间特征对应方法及其程序

摘要

一种图案间特征对应设备(1)，用于即使在要比较的图案有畸变的情况下也以高精度来确定特征对应关系。该设备(1)包括：产生其中的特征点在图案中的位置彼此接近的邻近特征点组和将邻近特征点组的特征点之间的位置关系指示为特征点组位置的位置关系数值的装置(11)；比较所产生的位置关系数值以检测对应特征点组位置候选的装置(12)；比较对应特征点组位置候选的每个特征点组位置的特征点与邻近特征点组位置的特征点之间的位置关系数值，将对应邻近特征点添加到对应特征点组位置候选，并更新对应特征点组位置候选的装置(13)；检查更新后的对应特征点组位置候选的相关对应特征点候选以设置对应特征点组位置候选的相关对应特征点的装置(14)；以及检查对应特征点组位置候选以设置图案间对应特征点的装置(15)。

主权项

一种图案间特征对应设备，包括：产生装置，用于将所输入的图案信号中彼此在位置上接近的N个特征点设置为邻近特征点组，将邻近特征点组和布置关系数值组设置为特征点组布置，并产生邻近特征点组、布置关系数值组和特征点组布置中的至少一个，所述布置关系数值组表示邻近特征点组的特征点之间的布置关系，N是大于等于2的整数，检测装置，用于执行对第一图案的布置关系数值与由产生装置产生的第二图案的布置关系数值的比较，以检测彼此相对应的对应特征点组布置候选，更新装置，用于对于对应特征点组布置候选，执行对与每个特征点组布置的特征点和在位置上接近特征点组布置的特征点有关的布置关系数值的比较，分别将彼此相对应的邻近特征点添加到对应特征点组布置候选，并更新对应特征点组布置候选，用于检验由更新装置更新的对应特征点组布置候选的伴随对应特征点候选，以确定对应特征点组布置候选的伴随对应特征点的装置，以及用于检验对应特征点组布置候选，以确定在图案之间彼此相对应的对应特征点的装置。