[发明专利]借助高频激励来产生等离子的方法和发生器电路无效
| 申请号： | 200880124621.3 | 申请日： | 2008-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN101971714A | 公开（公告）日： | 2011-02-09 |
| 发明（设计）人： | R·格施 | 申请（专利权）人： | 奥宏设备技术有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇 |
| 地址： | 德国塞利*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 为了提供保持等离子的电压，根据本方法，把具有确定的工作频率的高频电压与至少另一高频电压锁相叠加，所述另一高频电压分别具有该工作频率的倍频以及可调的幅度和相位。为一个相应的发生器电路设置至少两个高频功率发生器(1至4)，其中一个高频功率发生器(1)在确定的工作频率(f)下工作，另一个或其它高频功率发生器(2-4)在该工作频率的倍频(f)下工作。所有的高频功率发生器(1-4)相互锁相耦合，每个高频功率发生器(1-4)的相对相位以及相应幅度都可借助一个自己的匹配电路(5-8)来单独调节。或者，可以设置在确定的工作频率(f)工作的振荡器和至少另一个接在该振荡器后面的倍频器，该倍频器产生该工作频率(f)的谐波。 | ||
| 搜索关键词： | 借助 高频 激励 产生 等离子 方法 发生器 电路 | ||
【主权项】：
一种借助高频激励来产生等离子的方法，其特征在于，为了提供保持等离子的电压，把具有确定的工作频率的高频电压与至少另一高频电压锁相叠加，其中所述另一高频电压分别具有该工作频率的相应倍频以及可调的幅度和相位。
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