[发明专利]具有倾斜边缘的特征的成像图案

摘要

提供一种用于在介质上形成特征的图案的图像的方法，包括确定特征沿着第一方向和第二方向的间距以及至少基于特征沿着第一方向的间距确定第一像素的第一大小。至少基于特征沿着第二方向的间距确定第二像素的第二大小。至少基于倾斜角度和第一大小确定像素的第二扫描线与像素的第一扫描线之间沿着扫描方向的偏移。控制成像头以形成包括确定的第一大小的第一像素和包括确定的第二大小的第二像素。控制成像头以形成彼此偏移所确定的偏移的第一扫描线和第二扫描线。

主权项

一种用于利用由成像头发射的辐射束在沿着扫描方向在介质上扫描的同时在所述介质上形成特征的图案的图像的方法，其中图案中的特征沿第一方向和与第一方向相交的第二方向规则地布置，并且所述图案包括具有沿着相对于扫描方向倾斜一定倾斜角度的方向延伸的第一边缘部分的特征，该方法包括：确定特征沿着第一方向的间距；至少基于特征沿着第一方向的间距确定要形成在介质上的第一像素的第一大小，其中第一大小沿着与扫描方向相交的方向；确定特征沿着第二方向的间距；至少基于特征沿着第二方向的间距确定要在介质上形成的第二像素的第二大小；其中第二大小沿着扫描方向；确定要在介质上形成的像素的第二扫描线与要在介质上形成的像素的第一扫描线之间沿着扫描方向的偏移，该偏移至少基于所述倾斜角度和第一大小而确定；在沿着扫描方向扫描时控制成像头发射辐射束以在介质上形成图像；在介质上扫描时控制成像头以形成包括确定的第一大小的第一像素和包括确定的第二大小的第二像素；以及在介质上扫描时控制成像头以形成像素的第一扫描线和像素的第二扫描线，其中像素的第二扫描线从像素的第一扫描线偏移所确定的偏移。