[发明专利]用于监视RF功率的特性的系统、方法和装置无效
| 申请号： | 200880127398.8 | 申请日： | 2008-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN101971039A | 公开（公告）日： | 2011-02-09 |
| 发明（设计）人： | V·L.·布劳克;J·罗贝格 | 申请（专利权）人： | 先进能源工业公司 |
| 主分类号： | G01R21/10 | 分类号： | G01R21/10 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 刘瑜;王英 |
| 地址： | 美国科*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述了一种用于监视RF功率的系统和方法。在一个实施例中，所述系统采样由RF发生器产生的RF功率，以获得包括指示落在频率范围内的多个特定频率的电特性的信息的RF信号。所述RF信号被数字化以获得数字RF信号的流，所述数字RF信号的流包括：指示在所述多个特定频率的电特性的信息；以及，指示针对所述多个特定频率的每一个将电特性从时域连续地变换到频域内的信息。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 监视 rf 功率 特性 系统 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种用于监视施加到等离子体负载的RF功率的电特性的方法，包括：检测由RF发生器产生的RF功率的电特性，以获得RF信号，所述RF信号包括指示了落在频率范围内的多个特定频率处的电特性的信息；数字地采样所述RF信号以获得数字RF信号流，所述数字RF信号包括指示了在所述多个特定频率处的电特性的所述信息；以及针对所述多个特定频率中的每一个，将指示了电特性的所述信息从时域连续地变换到频域。
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