[发明专利]旋转天线及包括该旋转天线的半导体装置有效
| 申请号： | 200880127604.5 | 申请日： | 2008-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN101960928A | 公开（公告）日： | 2011-01-26 |
| 发明（设计）人： | 徐基源 | 申请（专利权）人： | 技术发现者联合有限公司;徐基源 |
| 主分类号： | H05H1/34 | 分类号： | H05H1/34 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 公开了一种旋转天线和设置有该旋转天线的半导体生产装置。该旋转天线包括多个线圈，该多个线圈并联到高频能量源并且以相对于轴成对称关系地围绕轴以规定间隔布置，其中，当所述线圈绕该轴旋转时，均匀地形成用于产生感应耦合等离子体的电磁场。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 天线 包括 半导体 装置 | ||
【主权项】：
一种旋转天线，包括：多个线圈，该多个线圈并联到高频能量源并且以相对于轴成对称关系地围绕轴以规定间隔布置，其中，当所述线圈绕该轴旋转时，均匀地形成用于产生感应耦合等离子体的电磁场。
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