[发明专利]具有经控制的孔隙形态的抛光垫有效
| 申请号： | 200880128602.8 | 申请日： | 2008-10-02 |
| 公开（公告）号： | CN101990483A | 公开（公告）日： | 2011-03-23 |
| 发明（设计）人： | P·利菲瑞;D·A·威尔斯;M·C·金;O·K·许;J·E·奥迪伯;S·X·乔;A·马修;吴光伟 | 申请（专利权）人： | 音诺帕德股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B5/00 | 分类号： | B24B5/00;B24B29/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 任永武 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有经控制的孔隙形态的抛光垫，其是化学机械平坦化抛光垫，包括分散于聚合物中的网络构件、形成于垫中的多个孔隙，且所述网络构件的至少一部分连接至所述孔隙的至少一部分。本发明还揭露一种形成此种垫的方法，其包括：提供组合物，所述组合物包含网络构件，以及聚合物或反应性预聚合物中的至少一者；将气体导入所述组合物中；以及使用所述气体在所述组合物中制造孔隙。本发明还揭露一种形成孔隙的方法，其依靠对聚合物或反应性聚合物内的网络构件施加力并随后移除所述力而形成孔隙。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 控制 孔隙 形态 抛光 | ||
【主权项】：
一种形成化学机械平坦化抛光垫的方法，包括：提供组合物，所述组合物包含网络构件，以及聚合物或反应性预聚合物的至少一者；将第一气体导入所述组合物中；以及使用所述气体在所述组合物中制造多个孔隙。
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