[发明专利]涡轮分子泵有效
| 申请号： | 200880128619.3 | 申请日： | 2008-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN102007298A | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 大石耕太 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 党晓林;王小东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种涡轮分子泵具有交替地布置有转子和定子的多个节段。每个转子均具有从旋转体呈放射状地延伸的叶片。每个定子均具有朝旋转体的旋转轴呈放射状地延伸的叶片。设置在转子或定子中的至少一个上的叶片形成为扭转形状，通过其中将从旋转轴的半径作为变量的方程式来设定叶片角。叶片角的表达式包括第一表达式，该第一表达式为在叶片的预定半径的外侧的每个叶片提供最佳角度，叶片角的表达式还包括第二表达式，该第二表达式提供在预定半径内侧抑制气体分子反流的叶片角。 | ||
| 搜索关键词： | 涡轮 分子 | ||
【主权项】：
一种涡轮分子泵，该涡轮分子泵包括：多个节段，该多个节段交替地布置有转子和定子，所述转子具有多个从旋转体呈放射状地延伸的叶片，所述定子具有多个朝所述旋转体的旋转轴呈放射状地延伸的叶片，其中，设置在所述转子或所述定子中的至少任一个上的所述叶片形成为扭转叶片，通过其中将距所述旋转轴的半径方向距离作为变量的方程式来设定所述叶片的叶片角；并且所述叶片角的所述方程式包括第一方程式和第二方程式，所述第一方程式为位于预定半径外的每个叶片提供最佳角度，所述第二方程式提供抑制气体分子在所述预定半径内的反流的叶片角。
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