[发明专利]利用电介质与金属层对的加强型滤光片有效

专利信息
申请号: 200880129487.6 申请日: 2008-08-20
公开(公告)号: CN102037381B 公开(公告)日: 2011-04-27
发明(设计)人: C·H·斯托塞尔;A·沃尔;R·蒂尔斯奇;M·科达;J·科扎克;R·T·凡波勒;L·博曼 申请(专利权)人: 南壁技术股份有限公司
主分类号: G02B1/10 分类号: G02B1/10
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 韦欣华;李炳爱
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 当较厚的锌基薄膜(30,32和34)作用为在后形成的银基薄膜(18,20和22)的种子层时,滤光片的“腐蚀”生能得以增强。滤光片内包括至少两对电介质与金属迭层对(12,14和16),其中,锌基薄膜为电介质层的第二薄膜,而银基薄膜为金属层。锌基薄膜的锌含量至少为80%且厚度至少为15nm。为了进一步提高抗腐蚀性能,可将金加入银基薄膜中。
搜索关键词: 利用 电介质 金属 加强型 滤光
【主权项】:
一种提供滤光片的方法,所述方法包括以下步骤:在基板上形成迭层以包括电介质层与金属层层对,包括通过以下步骤限定每一所述层对:形成铟基透明电介质薄膜作为所述电介质层的第一薄膜,所述透明电介质薄膜的折射率至少为1.1;形成锌基薄膜作为所述电介质层的第二薄膜,所述第二薄膜形成在所述第一薄膜上,所述锌基薄膜的锌含量至少为80%且厚度至少为15nm;以及形成银基薄膜作为所述金属层,所述银基薄膜与所述锌基薄膜接触。
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