[发明专利]远距光谱仪的连接结构无效
| 申请号： | 200880129902.8 | 申请日： | 2008-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN102067482A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 李淳钟;禹奉周;李东锡;金学权;尹硕敏 | 申请（专利权）人： | 塞米西斯科株式会社 |
| 主分类号： | H04B10/00 | 分类号： | H04B10/00 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 韩明星;李娜娜 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种远距光谱仪的连接结构，该远距光谱仪的连接结构可通过USB服务器将EPD控制器连接至以USB接口形式安装于反应室中的远距光谱仪，以克服由USB电缆的有效长度产生的限制，并且将光谱仪产生的数据稳定地传输至EPD控制器，藉此提高制程反应室发射的等离子发射的监测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 光谱仪 连接 结构 | ||
【主权项】：
一种远距光谱仪的连接结构，包括：邻近设置于大尺寸制造设备内的反应室观察端口并连接至单个EPD控制器的多个光谱仪，其特征在于所述多个光谱仪分别连接至设置于多个通道的多个USB设备服务器(USD)，设置于各所述通道的各所述USB设备服务器(USD)连接至单个交换集线器，并且所述交换集线器连接至所述EPD控制器。
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