[发明专利]检查系统

摘要

本发明提供一种可以高自由度地计算出S/N比高且精度好的检查用数据等的检查系统(100)。为此，其调整摄像时刻，使得对象物(W)在摄像元件(22)上的投影像在X方向上移动m个像素(m是1以上的整数)的时间与摄像时间间隔同步，同时，基于在各摄像时刻拍摄的各2维图像数据中对象物(W)在X方向偏移m个像素出现这一情况，从各2维图像数据中分别确定拍摄了上述对象物(W)的相同检查位置的部分图像数据，基于上述各部分图像数据生成对该检查位置施行了噪音降低处理的检查用数据。

主权项

一种检查系统(100)，其特征在于，该检查系统(100)包括摄像装置(2)，所述摄像装置包括：多个摄像元件(22)，其沿着垂直相交的2个假想轴的X轴和Y轴方向2维排列；摄像控制部(3)，其在规定的摄像时刻接受来自全部或者部分的所述摄像元件(22)的光量信号，将这些光量信号所表示的各检测光量值作为2维图像数据存储在设定于存储器上的图像存储区域(D1)；图像处理部(4)，其对所述2维图像数据施行处理并生成检查用数据，该检查系统(100)使对象物(W)相对所述摄像装置(2)在所述X轴方向相对移动，同时通过该摄像装置(2)来拍摄，其中，所述摄像控制部(3)调整所述摄像时刻，使得所述对象物(W)在摄像元件(22)上的投影像在所述X方向上移动m个像素的时间、即投影像单位移动时间，与接收来自所述摄像元件(22)的光量信号并存储在所述图像存储区域(D1)上作为该对象物(W)的单一的2维图像数据的时间间隔、即摄像时间间隔同步，其中m是1以上的整数，所述图像处理部(4)包括：确定部(41)，其基于在各摄像时刻所拍摄的各2维图像数据中，对象物(W)每次在X方向偏移m个像素地出现这一情况，从各2维图像数据中分别确定拍摄了所述对象物(W)的相同检查位置的部分图像数据；和数据生成部(42)，其基于所述各部分图像数据，生成对该检查位置施行了噪音降低处理的检查用数据。