[发明专利]放射线检测器有效
申请号: | 200880131016.9 | 申请日: | 2008-09-10 |
公开(公告)号: | CN102144175A | 公开(公告)日: | 2011-08-03 |
发明(设计)人: | 古井真悟;吉牟田利典;铃木准一;渡谷浩司;森田谕 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
主分类号: | G01T1/24 | 分类号: | G01T1/24;H01L27/14 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 雒运朴 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种放射线检测器,对于覆盖在放射线感应型半导体层、载流子选择性高电阻膜、共用电极的露出面上的固化性合成树脂膜,在制作该固化性合成树脂膜的工序中使用不混入氯的材料。由此,就会防止载流子选择性高电阻膜和半导体层因氯离子而形成针孔和孔洞。此外,在共用电极的露出面与固化性合成树脂膜之间,配备不使离子性物质透过的保护膜,也可以防止载流子选择性高电阻膜被固化性合成树脂膜中所含的氯离子腐蚀,防止半导体层中暗电流的增加。 | ||
搜索关键词: | 放射线 检测器 | ||
【主权项】:
一种放射线检测器,其特征在于,包括:放射线感应型的半导体层,因放射线的入射而生成载流子;高电阻膜,形成在所述半导体层的入射面侧,并且使载流子选择透过;共用电极,形成在所述高电阻膜的入射面侧,并且对所述高电阻膜和所述半导体层施加偏压;矩阵基板,形成在所述半导体层的入射面的相反侧,并且根据所述半导体层生成的载流子按照像素读出放射线检测信号;固化性合成树脂膜,覆盖所述半导体层、所述高电阻膜和所述共用电极的整个露出面;和辅助板,固定在所述固化性合成树脂膜的入射面侧,所述辅助板的与所述固化性合成树脂膜的接触面的相反面具有导电性,并且接地,所述固化性合成树脂膜不以氯或含氯的化合物为原料。
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