[发明专利]采用超材料的阻抗受控制的电性内连线有效

专利信息
申请号: 200880131238.0 申请日: 2008-08-22
公开(公告)号: CN102160175A 公开(公告)日: 2011-08-17
发明(设计)人: 克里斯多夫·威兰德 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L23/66 分类号: H01L23/66;H01L23/538
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 代理人: 张浴月;刘文意
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 公开了一种改善二个电性元件(510,550)之间的电性内连线的方法,其是借由提供与电性内连线(530)相结合的一超材料覆盖物(700)来实现。该超材料覆盖物被设计为使得电性信号经由电性内连线传播时表现得如同其内形成有电性内连线的介电介质的介电系数与导磁系数与电性内连线周围的介电介质的实部的介电系数与导磁系数不同。在某些情况下,该超材料所造成的介电系数与导磁系数会使信号犹如在介电系数与导磁系数为负值之下传播。因此,本方法提供的电性内连线能够强化阻抗控制与稳定度,减少噪声,并减小损耗。该超材料覆盖物的可替换的实施例则强化了传统的分离的焊线接合,同时促进了与带状实现相兼容的单一集成设计。
搜索关键词: 采用 材料 阻抗 受控 电性内 连线
【主权项】:
一种方法,包括:提供多个电性内连线的至少一电性内连线至一第一器件,每一电性内连线以至少一内连线长度为特征;以及提供一覆盖物,所述覆盖物包括至少一第一超材料结构,并对于所述内连线长度的至少一既定部分被设置为大致平行于多个电性内连线的所述至少一电性内连线。
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