[发明专利]数字微镜器件无效
| 申请号： | 200880132192.4 | 申请日： | 2008-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN102239436A | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | G·J·麦克沃依;R·P·S欧瑞丽;V·P·劳勒;K·西尔弗布鲁克 | 申请（专利权）人： | 西尔弗布鲁克研究股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G03B21/28;B81B7/04 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 朱智勇 |
| 地址： | 澳大利亚*** | 国省代码： | 澳大利亚;AU |
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| 摘要： | 一种数字微镜器件包括位于基片上的微镜组件的阵列。每个微镜组件包括：与基片隔开的反射镜；支承反射镜的杆；以及分别位于杆两侧的第一电极和第二电极。杆由弹挠性材料构成，使得反射镜能够凭借静电力向第一电极或向第二电极倾斜。这种数字微镜器件可以用于数据投影机之类。 | ||
| 搜索关键词： | 数字 器件 | ||
【主权项】：
一种数字微镜器件，包括位于基片上的微镜组件的阵列，每个微镜组件包括：与基片隔开的反射镜，所述反射镜具有上反射面和下支承面；支承所述反射镜的杆，所述杆从所述基片延伸到所述下支承面，所述杆形成所述反射镜的倾斜轴；第一电极和第二电极，所述第一电极和第二电极分别位于所述杆的两侧，每个电极都是可通过所述基片内的电子电路个别访问的，其中，所述杆由弹挠性材料构成，使得所述反射镜能够凭借静电力向所述第一电极或向所述第二电极倾斜。
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