[发明专利]催化剂辅助化学气相生长装置

摘要

本发明提供一种有助于延长丝状催化剂使用寿命的催化剂辅助化学气相生长装置。对催化剂辅助化学气相生长装置(1)，在钽丝表面形成其硼化物层而制成丝状催化剂(6)，由于金属钽的硼化物(硼化钽)硬度比金属钽的高，所以将表面形成有其硼化物层的钽丝用作丝状催化剂时，可降低丝状催化剂的受热伸长量，从而提高其机械强度，进而有助于延长其使用寿命。另外，因通过连续通电而对丝状催化剂(6)进行通电加热，因而更有助于延长丝状催化剂(6)的使用寿命。

主权项

一种催化剂辅助化学气相生长装置，其特征在于，具有：反应室；气体导入源，由其向上述反应室导入原料气体；丝状催化剂，在钽丝表面形成其硼化物层而制成该丝状催化剂，该丝状催化剂与设置在上述反应室内的被处理基板面对设置；加热源，由其使上述丝状催化剂加热。