[发明专利]柔性电子压力感测装置及其制造方法

摘要

一种可大面积感测与低成本制作的柔性电子压力感测装置及其制作方法，该装置包括多层柔性薄膜、多个电极、多个感测块及多个凸块。这些柔性薄膜有间隔地设置而定义出二个空间。这些电极及这些感测块配置在这些柔性薄膜上而位于空间内，且这些凸块配置在这些柔性薄膜上而位于另一空间内。这些空间内的空气维持配置有这些电极及这些感测块的二个柔性薄膜之间的相对距离。当柔性电子压力感测装置产生形变时，可避免因分别配置于不同柔性薄膜上的感测块与电极或两感测块的相互接触而产生的误感测信号。此外，一种柔性电子压力感测装置的制作方法亦被提出。

主权项

一种柔性电子压力感测装置，包括：第一柔性薄膜；第二柔性薄膜，有间隔地设置在该第一柔性薄膜的下方，并与该第一柔性薄膜构成第一空间；多个第一电极，阵列地配置在该第一柔性薄膜上，且位于该第一柔性薄膜及该第二柔性薄膜之间；多个第二电极，阵列地配置在该第二柔性薄膜上，且位于该第一柔性薄膜及该第二柔性薄膜之间；多个第一感测块，分别配置在这些第一电极上，并分别与该对应的第二电极相隔离；第三柔性薄膜，有间隔地设置在该第一柔性薄膜的上方，并较该第一柔性薄膜远离该第二柔性薄膜，且与该第一柔性薄膜构成第二空间，其中该第一空间内与该第二空间内的空气维持该第一柔性薄膜相对于该第二柔性薄膜的距离；以及多个第一凸块，分别对应于这些第一感测块而配置在该第一柔性薄膜上，且位于该第一柔性薄膜及该第三柔性薄膜之间。