[发明专利]氢氧化四甲铵显影液的回收系统及其方法有效
| 申请号： | 200910002383.5 | 申请日： | 2003-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN101452224A | 公开（公告）日： | 2009-06-10 |
| 发明（设计）人： | 黄教忠 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 封新琴 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种氢氧化四甲铵(TMAH)显影液的回收方法，包含下列步骤：测定该回收液在波长210nm与220nm的吸收度分别为A1与A2；计算该回收液中的该显影剂吸收度(A3)＝A1-A2×Co，其中，Co＝(A1′-A3′)/A2′，A1′与A2′分别为已知氢氧化四甲铵浓度的回收液在210nm与220nm的吸光度，而A3′为该已知氢氧化四甲铵浓度在210nm的标准吸光度；以氢氧化四甲铵在210nm的标准浓度吸光曲线求出该氢氧化四甲铵吸光值A3对应的浓度；以及根据该回收液中的氢氧化四甲铵浓度值添加适量的氢氧化四甲铵以达到标准氢氧化四甲铵浓度值为止。本发明还包括一种氢氧化四甲铵显影液的回收系统。 | ||
| 搜索关键词： | 氢氧化 四甲铵 显影液 回收 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种氢氧化四甲铵显影液的回收方法，包含下列步骤：测定该回收液在波长210nm与220nm的吸收度分别为A1与A2；计算该回收液中的该显影剂吸收度(A3)＝A1-A2×Co，其中，Co＝(A1′-A3′)/A2′，A1′与A2′分别为已知氢氧化四甲铵浓度的回收液在210nm与220nm的吸光度，而A3′为该已知氢氧化四甲铵浓度在210nm的标准吸光度；以氢氧化四甲铵在210nm的标准浓度吸光曲线求出该氢氧化四甲铵吸光值A3对应的浓度；以及根据该回收液中的氢氧化四甲铵浓度值添加适量的氢氧化四甲铵以达到标准氢氧化四甲铵浓度值为止。
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