[发明专利]致动器以及使用其的电子设备

摘要

本发明提供一种致动器以及使用其的电子设备，该致动器通过降低梁的翻翘的影响，最大静电电容大，此外缓和了在最大静电电容附近的静电电容的急剧的变化。本发明提供一种致动器，具备：第1梁，其从第1固定端延伸到第1连接端；第1固定部，其连结第1固定端与基板，并使上述第1梁在基板的主面的上方空出间隙地支撑第1梁；第2梁，其从第2连接端延伸到第1作用端，与第1梁并排地设置，并且具有由从第1作用端向着第2连接端延伸的第1缝隙分割而成的第1分割部；第1连接部，其连结第1连接端与第2连接端，并且使上述第2梁在基板的主面的上方空出间隙地保持第2梁；第1固定电极，其与第1分割部的、第1作用端侧的一部分相对，并且设置在基板的主面上。

主权项

1. 一种致动器，其特征在于，具备：基板；第1梁，其包含第1下部电极、第1上部电极、设置在上述第1下部电极与上述第1上部电极之间的第1压电膜，并且其从第1固定端延伸到第1连接端；第1固定部，其连结上述第1固定端与上述基板，并且使上述第1梁在上述基板的主面的上方空出间隙地支撑上述第1梁；第2梁，其包含第2下部电极、第2上部电极、设置在上述第2下部电极与上述第2上部电极之间的第2压电膜，并且其从第2连接端延伸到第1作用端，与上述第1梁并排地设置，具有由从上述第1作用端向上述第2连接端延伸的第1缝隙分割而成的第1分割部；第1连接部，其连结上述第1连接端与上述第2连接端，并且使上述第2梁在上述基板的上述主面的上方空出间隙地保持上述第2梁；以及第1固定电极，其与上述第1分割部的、上述第1作用端侧的一部分相对，并且设置在上述基板的上述主面上。