[发明专利]互补式金属传输线结构无效
| 申请号： | 200910002686.7 | 申请日： | 2009-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN101783336A | 公开（公告）日： | 2010-07-21 |
| 发明（设计）人： | 庄晴光;蒋孟儒;吴宪顺 | 申请（专利权）人： | 庄晴光;益芯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522;H01P3/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种互补式金属传输线结构，其包含：一基板；至少一第一网目金属层；m层第二网目金属层，此m层第二网目金属层之间与此至少一第一网目金属层之间分别与m层第一介电层交错叠接，由此形成一堆叠结构于此基板之上，其中此m层第一介电层分别具有多个金属连接孔连接此至少一第一网目金属层与此m层第二网目金属层，其中m≥2且m为自然数；一第二介电层，位于此堆叠结构之上；以及一信号传输线，位于此第二介电层之上；其中，此信号传输线正下方的此m层第二网目金属层具有至少一狭缝结构。 | ||
| 搜索关键词： | 互补 金属 传输线 结构 | ||
【主权项】：
一种互补式金属传输线结构，其特征在于，包含：一基板；至少一第一网目金属层；m层第二网目金属层，该m层第二网目金属层之间与该至少一第一网目金属层之间分别与m层第一介电层交错叠接，由此形成一堆叠结构于该基板之上，其中该m层第一介电层分别具有多个金属连接孔连接该至少一第一网目金属层与该m层第二网目金属层，其中m≥2且m为自然数；一第二介电层，位于该堆叠结构之上；以及一信号传输线，位于该第二介电层之上；其中，该信号传输线正下方的该m层第二网目金属层具有至少一狭缝结构。
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