[发明专利]制备ZnAl靶材的方法以及制得的ZnAl靶材有效
| 申请号： | 200910002932.9 | 申请日： | 2009-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN101775578A | 公开（公告）日： | 2010-07-14 |
| 发明（设计）人： | 刘付胜聪;曾浩 | 申请（专利权）人： | E.I.内穆尔杜邦公司 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/34;C22C1/04;B22F3/105 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了一种制备ZnAl合金靶材的方法，所述方法包括以下步骤：(1)提供锌粉和铝粉的混合物；(2)通过放电等离子烧结工艺烧结锌粉和铝粉的混合物得到ZnAl合金。还提供了一种由上述方法得到的ZnAl合金靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 znal 方法 以及 靶材 | ||
【主权项】：
一种制备ZnAl合金靶材的方法，所述方法包括以下步骤：(1)提供锌粉和铝粉的混合物；(2)通过放电等离子烧结工艺烧结锌粉和铝粉的混合物得到ZnAl合金。
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