[发明专利]具耦合型与多向性的软性应力传感装置有效
申请号: | 200910002974.2 | 申请日: | 2009-01-23 |
公开(公告)号: | CN101788351A | 公开(公告)日: | 2010-07-28 |
发明(设计)人: | 张文阳;林恒如;沈煜棠 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | G01L1/20 | 分类号: | G01L1/20;G01L1/18;G01L1/16;G01L1/14;G01L1/12 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 彭久云 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种具耦合型与多向性的软性应力传感装置,包括一软性基板、一支撑层、一薄膜基材、多个薄膜传感部、多个传感电极、多个传感块、多个凸块物、以及一填充物。支撑层设置在软性基板上,薄膜基材由支撑层所支撑,薄膜传感部由薄膜基材延伸而出,传感电极对应设置在薄膜传感部上,传感块对应涂布在传感电极上,而填充物包覆支撑层、薄膜基材、薄膜传感部、传感电极、以及传感块。 | ||
搜索关键词: | 耦合 多向 软性 应力 传感 装置 | ||
【主权项】:
一种应力传感装置,包括:一基板;一支撑层,设置在该基板上;一薄膜基材,由该支撑层所支撑;多个薄膜传感部,由该薄膜基材延伸而出;多个传感电极,对应设置于在所述薄膜传感部上;多个传感块,对应设置在所述传感电极上;及一填充物,包覆该支撑层、该薄膜基材、所述薄膜传感部、所述传感电极、以及所述传感块。
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