[发明专利]基板输送装置有效
| 申请号： | 200910005261.1 | 申请日： | 2009-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN101498902A | 公开（公告）日： | 2009-08-05 |
| 发明（设计）人： | 丁春锡;朴镐胤;李硕周;李升垣 | 申请（专利权）人： | 显示器生产服务株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄 威;张 彬 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种基板输送装置，其设计为提供提高在基板输送期间工作液(显影液)的液体回收效率的倾斜输送功能。所述基板输送装置包括用于输送基板的第一输送单元、与所述第一输送单元的一端间隔的第二输送单元、设置在所述第一输送单元及所述第二输送单元之间并且提供能够在基板输送期间回收附着在基板上的显影液的倾斜输送的第三输送单元，及用于控制所述第三输送单元的倾斜输送角度及连接状态的输送控制器。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 装置 | ||
【主权项】：
1、一种基板输送装置，包括：用于输送基板的第一输送单元；与所述第一输送单元的一端间隔开的第二输送单元；第三输送单元，其设置在所述第一输送单元及所述第二输送单元之间，并且提供能够在基板输送期间回收附着在基板上的显影液的倾斜输送；及用于控制所述第三输送单元的倾斜输送角度及连接状态的输送控制器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于显示器生产服务株式会社，未经显示器生产服务株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910005261.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
