[发明专利]加速度传感器装置

摘要

本发明提供一种加速度传感器装置，可防止锤部、梁部和压电电阻元件的破损以及特性变化，可提高加速度传感器装置的可靠性。加速度传感器装置包括：具有锤部(11)、在该锤部(11)的周围具有间隔地配置的底座部(12)、挠性连接锤部(11)和底座部(12)的多个梁部(13)的加速度传感器芯片(10)；为了限制锤部(11)的变位而设置在加速度传感器芯片(10)上的限位板(20)。限位板(20)在与梁部(13)相对的位置具有凹部(25)，所以能不对梁部(13)带来冲击地限制锤部(11)的变位。

主权项

1. 一种加速度传感器装置，其特征在于，包括：加速度传感器芯片，具有锤部、在所述锤部的周围与该锤部具有间隔地配置的底座部、挠性连接所述锤部和所述底座部的多个梁部；以及限位板，设置在所述加速度传感器芯片上，以限制所述锤部的变位；所述限位板在与所述梁部相对的位置具有凹部。