[发明专利]一种分离显影液废液与DI水的分离装置及分离方法有效
| 申请号： | 200910005646.8 | 申请日： | 2009-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN101794086A | 公开（公告）日： | 2010-08-04 |
| 发明（设计）人： | 鲁旭光;陈晓琪;胡清强;陈耀 | 申请（专利权）人： | 和舰科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 张春媛 |
| 地址： | 215025 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种分离显影液废液与DI水的分离装置及分离方法，该装置包含一个自动阻尼器、一个液体隔离装置和两个排放管道。在正常工作状态下，上述阻尼器的下端指向液体隔离装置的一个隔间，并通过该隔间下方的排放管道排出显影液废液；而当利用DI水进行清洗时，上述阻尼器将进行旋转，使其下端指向液体隔离装置的另一个隔间，并通过该另一隔间下方的排放管道排出DI水。采用本发明所述的分离装置和分离方法可以最大限度的使显影液废液和DI水分开排放，有利于厂务处理废液，节约成本，促进环保。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分离 显影液 废液 di 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种分离显影液废液与DI水的分离装置，其特征在于该装置包含：一个自动阻尼器，该自动阻尼器与系统中的显影液废液管道和DI水管道相连；一个液体隔离装置，该液体隔离装置位于上述阻尼器下方，用于接收从上述自动阻尼器流下的液体；且该液体隔离装置具有第一隔间和第二隔间；第一排放管道，该第一排放管道位于上述第一隔间下方，且与上述第一隔间连通；第二排放管道，该第二排放管道位于上述第二隔间下方，且与上述第二隔间连通。
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