[发明专利]旋涂装置无效
| 申请号： | 200910007773.1 | 申请日： | 2004-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN101518770A | 公开（公告）日： | 2009-09-02 |
| 发明（设计）人： | 稻谷孝佑 | 申请（专利权）人： | 欧利生电气株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00;B05C11/08;B05C11/10;G11B7/26 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 岳雪兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种旋涂装置，其包括：旋转台，其保持盘基板；旋转机构，其使该旋转台旋转；涂料器罩，其配置成将所述旋转台包围并挡住从保持在所述旋转台上的盘基板甩掉的液体；内杯，其挡住而不排出沿着所述涂料器罩滴落的液体；涂料器杯，其支承该内杯，其中，所述内杯能够从所述涂料器杯上卸下。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
1、一种旋涂装置，其特征在于，包括：旋转台，其保持盘基板；旋转机构，其使该旋转台旋转；涂料器罩，其配置成将所述旋转台包围并挡住从被保持在所述旋转台上的盘基板甩掉的液体；内杯，其挡住并保持沿着所述涂料器罩滴落的液体；涂料器杯，其支承该内杯，其中，所述内杯能够从所述涂料器杯上卸下，该旋涂装置还包括将液体向所述盘基板供给的液体供给机构，在所述涂料器罩上形成至少一个空中注射用孔，在所述液体供给机构为了防止液体的堵塞而将液体空中注射时，该空中注射用孔用于使该被空中注射的液体流向所述内杯内。
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