[发明专利]热式流量传感器有效
| 申请号： | 200910007991.5 | 申请日： | 2007-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN101493349A | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | 中野洋;山田雅通;松本昌大;渡边泉 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | G01F1/698 | 分类号： | G01F1/698;G01F1/692;G01F1/684 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种在热式流量计，减小温度检测用的发热电阻体的劣化的同时，减小来自安装构件的应力影响，从而能够长时间维持测定精度。在隔膜(4)上配置电阻体(6)和发热电阻体(6)周边的发热电阻体(7)，并且在偏离隔膜(4)的位置配置感温电阻体(8、9、10)，其中由发热电阻体(7)和感温电阻体(8、9、10)形成桥电路，来进行发热电阻体(7)和发热电阻体(6)的温度控制。另外，在隔膜(4)与电极(15a～15f)之间形成背面沟(17a、17b)。 | ||
| 搜索关键词： | 流量传感器 | ||
【主权项】：
1、一种热式流量传感器，包括：传感器元件单元，包含桥电路，该桥电路内包含平衡调整用电阻，并且在半导体基板上连线；驱动电路单元，将所述平衡调整用电阻的两端电压取出到所述半导体基板的外部，在所述两端电压的范围内进行所述桥电路的平衡调整。
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