[发明专利]舟形构件有效
| 申请号： | 200910008307.5 | 申请日： | 2009-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN101514443A | 公开（公告）日： | 2009-08-26 |
| 发明（设计）人： | 李炳一;赵庸根 | 申请（专利权）人： | 泰拉半导体株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/58 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种舟形构件，在批式热处理装置中，在搭载并支持了基板的舟形构件上形成支持基板的长边侧的第一及第二支持道，防止在热处理进行过程中基板因自身载荷而变形。本发明所涉及的舟形构件是在批式热处理装置中、在提供用于执行热处理工序的空间的室内、用于搭载多个基板的结构，包括：下部框架；上部框架；以及多个垂直框架，与上述下部框架及上述上部框架连接，形成有在上述基板的内侧方向上延伸的多个第一支持道；还包括：第二支持道，与上述各垂直框架的第一支持道相互连接。 | ||
| 搜索关键词： | 构件 | ||
【主权项】：
1、一种舟形构件，配置在室内，并搭载了多个基板，上述室提供用于由批式热处理装置执行热处理工序的空间，上述舟形构件的特征在于，包括：下部框架；上部框架；以及多个垂直框架，与上述下部框架及上述上部框架连接，形成有在上述搭载的基板的内侧方向上延伸的多个第一支持道；还包括：第二支持道，与上述各垂直框架的第一支持道相互连接。
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