[发明专利]银-金合金靶材、其制造方法及应用无效
| 申请号： | 200910008925.X | 申请日： | 2009-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN101805835A | 公开（公告）日： | 2010-08-18 |
| 发明（设计）人： | 王瑞郁;林守贤 | 申请（专利权）人： | 光洋应用材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C22C1/02 | 分类号： | C22C1/02;C22C5/02;C22C5/06;C22C30/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 中国商标专利事务所有限公司 11234 | 代理人： | 万学堂;宋迎 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种银-金合金靶材、其制造方法及应用，所述制造方法包括将一靶材原料置入一熔炼炉中加热至熔融；将熔融后的熔汤进行浇铸；将浇铸后所形成的铸锭进行热锻；将热锻后所形成的胚体进行冷轧延；将冷轧延后的胚体进行热处理，以获得晶粒细小的银-金合金靶材。通过本发明所提供的方法能使靶材拥有细致的晶粒，并有效除去铸造缺陷，使得靶材于溅镀时不会产生诸如尘粒(particle)、成份不均等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 合金 制造 方法 应用 | ||
【主权项】：
一种银-金靶材的制造方法，其特征在于，是包括：将一金原料与一银原料置入一熔炼炉中加热至熔融；将熔融后的熔汤进行浇铸；将浇铸后所形成的铸锭进行热锻；将热锻后所形成的胚体进行冷轧延；将冷轧延后的胚体进行热处理，以获得晶粒细小的银-金合金靶材。
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