[发明专利]衬底加热设备、加热方法以及半导体装置制造方法有效

专利信息
申请号: 200910009701.0 申请日: 2009-01-23
公开(公告)号: CN101499419A 公开(公告)日: 2009-08-05
发明(设计)人: 柴垣真果;土井浩志;江上明宏;佐佐木俊秋;长谷川晋也 申请(专利权)人: 佳能安内华工程股份有限公司;佳能安内华股份有限公司
主分类号: H01L21/324 分类号: H01L21/324
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 柴毅敏
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及衬底加热设备、加热方法以及半导体装置制造方法。本发明涉及一种具有加热衬底的传导加热器的衬底加热设备,其包括布置在传导加热器中并连接至丝极电源以产生热电子的丝极、以及使热电子在丝极和传导加热器之间加速的加速电源。丝极具有沿着与衬底同心的内圆以预定间隔形成的内周边部分、在与内圆同心且具有大于内圆的直径的外圆上以预定间隔形成的外周边部分、和通过连接各个内周边部分的端点与相对应的外周边部分的端点而形成的区域。
搜索关键词: 衬底 加热 设备 方法 以及 半导体 装置 制造
【主权项】:
1. 一种包括传导加热器的衬底加热设备,所述传导加热器布置成与处于降低压力的容器中所保持的衬底相对并且加热所述衬底,所述衬底加热设备包括:布置在所述传导加热器中并连接至丝极电源以产生热电子的丝极;和使所述热电子在所述丝极和所述传导加热器之间加速的加速电源,其中所述丝极包括:沿着与所述衬底同心的内圆以预定间隔形成的内周边部分,在与所述内圆同心且具有大于所述内圆的直径的外圆上以预定间隔形成的外周边部分,和通过连接各个内周边部分的端点和相对应的外周边部分的端点而形成的区域。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能安内华工程股份有限公司;佳能安内华股份有限公司,未经佳能安内华工程股份有限公司;佳能安内华股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200910009701.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top