[发明专利]真空气密容器的制造方法无效
| 申请号： | 200910009707.8 | 申请日： | 2009-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN101499394A | 公开（公告）日： | 2009-08-05 |
| 发明（设计）人： | 三浦德孝;长谷川光利;安藤洋一 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | H01J9/24 | 分类号： | H01J9/24;H01J9/39 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 康建忠 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空气密容器的制造方法。为了提供一种能够活化具有不同活化温度的不可蒸发性吸气剂而不用提供给予要用于烘烤处理中的热以外的外部能量的处理的真空气密容器的制造方法，根据本发明的真空气密容器的制造方法包括通过将减压气氛中的温度升高直至第一NEG被活化的温度T1而仅活化第一NEG的步骤2，并且还包括在活化第一NEG之后通过将减压气氛中的温度升高直至第二NEG被活化的温度T2而活化第二NEG的步骤4。步骤2和步骤4在烘烤步骤中结束。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 气密 容器 制造 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种真空气密容器的制造方法，所述方法包括在减压气氛中烘烤其中设置有第一不可蒸发性吸气剂和活化温度比第一不可蒸发性吸气剂高的第二不可蒸发性吸气剂的容器的烘烤步骤，其中，所述烘烤步骤还包含以下步骤：将所述第一不可蒸发性吸气剂和第二不可蒸发性吸气剂的温度升高直至所述第一不可蒸发性吸气剂被活化的温度T1，并由此活化所述第一不可蒸发性吸气剂；和在活化所述第一不可蒸发性吸气剂之后，将所述第一不可蒸发性吸气剂和第二不可蒸发性吸气剂的温度升高直至温度T2，并由此活化所述第二不可蒸发性吸气剂，所述温度T2高于温度T1且所述第二不可蒸发性吸气剂在所述温度T2下被活化。
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