[发明专利]大功率腔内三倍频紫外激光器

摘要

大功率腔内三倍频紫外激光器，属全固态激光技术领域，包括基频波腔镜、Q开关、基频激光输出模块等部件；上述各部件分别固定在各自的基座上，在基板上依次放置基频波腔镜、Q开关、基频激光输出模块、二向色镜、二倍频非线性光学晶体、三向色镜、三倍频非线性光学晶体和三次谐波输出镜；分别构成基频光谐振腔、二倍频光谐振腔和三倍频光谐振腔；三个谐振腔共轴，用外壳将整个装置罩在基板上。本发明采用简单的直线腔型，高效、大功率且结构简单紧凑，使用方便，安装调试容易，便于工程化推广。

主权项

1、一种大功率腔内三倍频紫外激光器，包括基频波腔镜、Q开关、基频激光输出模块、二向色镜、二倍频非线性光学晶体、三向色镜、三倍频非线性光学晶体和三次谐波输出镜；上述各部件分别固定在各自的基座上，其特征在于在基板上依次放置基频波腔镜、Q开关、基频激光输出模块、二向色镜、二倍频非线性光学晶体、三向色镜、三倍频非线性光学晶体和三次谐波输出镜；由基频波腔镜、Q开关、基频激光输出模块和三次谐波输出镜构成基频光谐振腔；由二向色镜、二倍非线性光学晶体和三次谐波输出镜构成二倍频光谐振腔；由三向色镜、三倍频非线性光学晶体和三次谐波输出镜构成三倍频光谐振腔；基频光谐振腔、二倍频光谐振腔和三倍频光谐振腔共轴，用外壳将整个装置罩在基板上。