[发明专利]一种基于溶胶凝胶法的复合纳米金刚石薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 200910022969.8 | 申请日： | 2009-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN101585534A | 公开（公告）日： | 2009-11-25 |
| 发明（设计）人： | 张秀霞;魏舒怡;丁玉成;卢秉恒;陈邦道;樊帆;王莉 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C01B31/06 | 分类号： | C01B31/06 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 惠文轩 |
| 地址： | 710049陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及金刚石薄膜的制备领域，公开了一种基于溶胶凝胶法的复合纳米金刚石薄膜的制备方法。它包括下列步骤：a.制备复合纳米金刚石浆料；b.溶胶凝胶法甩胶；c.甩胶后的热烧结处理；d.表面处理和退火处理。本发明工艺简单，成本低；制备的复合纳米金刚石薄膜稳定、均匀；适用于摩擦磨损、冷阴极场发射、微机电系统(MEMs)、电化学惰性电极及光学涂层等应用领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 溶胶 凝胶 复合 纳米 金刚石 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种基于溶胶凝胶法的复合纳米金刚石薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：a、分别研磨纳米金刚石和纳米石墨，散开其团聚体，然后将纳米石墨、纳米金刚石、乙基纤维素按重量比1∶3∶4的比例混合作为溶质；b、按重量比1∶20至1∶15的比例将溶质加入松油醇溶剂中，超声分散2-3小时，再在380-400K下加热搅拌，然后过400-450目筛，最后自然冷却至室温，得纳米金刚石浆料待用；c、用玻璃棒将配制的纳米金刚石浆料滴在衬底上，选择5000-7000转/分的转速，利用溶胶凝胶机甩胶后，进行热烧结处理；d、热烧结处理时，先升温至333K后保持25-30分钟，再升温至400K后保持120-140分钟，然后升温至600K后保持60-80分钟，自然冷却，得热烧结后薄膜；e、去除热烧结后薄膜表面堆积的有机物，然后在温度为600K-620K，时间为10-20min条件下进行退火处理，即得复合纳米金刚石薄膜。
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