[发明专利]二氧化钛基有机-无机复合薄膜的制备及采用该薄膜制备微光器件的方法

摘要

二氧化钛基有机-无机复合薄膜的制备及采用该薄膜制备微光器件的方法，通过改进的溶胶-凝胶技术结合低温有机-无机复合技术引入了有机光敏功能基团以实现具有光敏特性同时集光波导特性于一身的有机-无机复合光电子材料。并基于该类复合材料的紫外光敏特性结合掩模技术、热熔回流技术和压印技术进行低成本的脊型光波导器件和微透镜阵列的制作。特别是本发明是基于在低温下具有数微米厚、折射率可调和紫外光敏特性的单层光学质量波导薄膜，所以非常利于光电子器件的集成化和低成本制作。

主权项

1、二氧化钛基有机-无机复合薄膜的制备方法，其特征在于：1)首先，将1摩尔钛酸丁酯和3～5摩尔乙酰丙酮混合搅拌均匀得溶液A；2)其次，将1摩尔3-(三甲氧基硅烷基)丙基甲基丙烯酸酯、2～4摩尔异丙醇和2～4摩尔去离子水混合，然后加入0.01摩尔标准盐酸溶液作为催化剂，搅拌均匀水解-缩聚后得溶液B；3)然后，将1摩尔甲基三乙氧基硅烷、3～5摩尔乙醇和3～5摩尔去离子水混合均匀，然后加入0.01摩尔的标准盐酸作为催化剂并不断搅拌均匀水解-缩聚后作为溶液C；4)按溶液A中钛酸丁酯、溶液B中3-(三甲氧基硅烷基)丙基甲基丙烯酸酯和溶液C中甲基三乙氧基硅烷摩尔比为1∶2-3∶2-1将溶液A、溶液B和溶液C混合室温下搅拌，得含硅钛的低温有机-无机复合基质母液；5)取有机-无机复合基质母液重量3.0-4.0％的双(2，4，6-三甲基苯甲酰基)苯基氧化膦光引发剂加入到复合基质母液中，并在暗室和室温下搅拌均匀得到悬浊液；6)利用旋转涂层工艺在转速为每分钟2500-4500转的情况下将悬浊液沉积在硅基片或玻璃基片上，将沉积好的薄膜样品放在70-85℃下处理3-5分钟得到具有高光学质量和紫外光敏特性的二氧化钛基有机-无机复合薄膜。