[发明专利]硅甲烷低温生产及副产物综合回收工艺

摘要

本发明属于多晶硅技术领域，具体涉及硅甲烷低温生产及副产物综合回收工艺。过去，硅甲烷属特种气体，一般用于科学研究，需求量不大，目前，随着太阳能产业的迅猛发展，硅甲烷不仅提出了纯度的要求，而且需求量日益增大，传统小规模制取硅甲烷工艺操作复杂，成本高，生产效率低，反应放出的热不能及时散去造成工艺安全低下，且在原料流加中造成硅烷和氨的泄露，污染环境。本发明通过纯化制备硅甲烷气体，且对生产中产生的副产物进行综合回收，实现真正意义上的循环无污染生产。本发明能实现连续化生产，使自动化程度高，清洁无泄漏，安全可靠，操作方便，维护简单的硅甲烷低温生产及副产物综合回收工艺。

主权项

1、硅甲烷低温生产及副产物综合回收工艺，其特征在于采用两段工艺进行硅甲烷-40℃条件下的低温生产纯化并进行副产物的综合回收；(1)反应提纯段：该段核心设备为反应釜(25)、反应物料通过加料斗(27)添加，反应产物通过氨回流冷凝器(26)冷凝回流进行初步纯化、反应釜-40℃低温环境冷量由双级氨冷机(24)提供；(2)副产物回收段：该段核心设备为氯化镁干燥器(29)、反应后得到的副产物在氯化镁干燥器(29)后经过液固分离后，液氨进入液氨缓冲罐(32)得到回收，剩余液固混合物经蒸发，蒸汽通过填料塔(36)过滤后进入隔膜压缩机(35)液化、经液氨冷凝器(37)进入液氨储罐(33)而得到回收。