[发明专利]电容式硅微机械雨量传感器无效
| 申请号： | 200910025825.8 | 申请日： | 2009-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN101509788A | 公开（公告）日： | 2009-08-19 |
| 发明（设计）人： | 顾兴莲;秦明;余辉洋 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01D5/24 | 分类号： | G01D5/24;B81B7/02;B81C5/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 叶连生 |
| 地址： | 211109江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 电容式硅微机械雨量传感器采用单晶硅膜(1)作为敏感材料，采用绝缘材料玻璃或陶瓷(3)作为绝缘衬底，用高掺杂的硅质量块(6)的下表面作为电容上电极，在硅质量块(6)的上表面是一层氧化硅(4)，绝缘衬底上溅射的金属(2)作为电容的下电极，上下电极图形一致，由多个单元形成一个2×2以上的二维阵列，衬底与硅质量块(6)用导电胶(5)进行组装，器件制作完成之后，进行引线键合，然后在传感器上表面均匀涂敷一层硅橡胶使其完全密封。本传感器是将雨水的冲击力转换成压敏电容信号，根据电容的变化量间接检测雨量的大小。该传感器灵敏度高，温度稳定性好，体积小，便携性好，成本低的优点，能广泛应用于各种场合。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 微机 雨量 传感器 | ||
【主权项】：
1. 一种电容式硅微机械雨量传感器，其特征在于该传感器采用单晶硅膜(1)作为敏感材料，采用绝缘材料玻璃或陶瓷(3)作为绝缘衬底，用高掺杂的硅质量块(6)的下表面作为电容上电极，在硅质量块(6)的上表面是一层氧化硅(4)，绝缘衬底上溅射的金属(2)作为电容的下电极，上下电极图形一致，由多个单元形成一个2×2以上的二维阵列，且单元并联在一起，衬底与硅质量块(6)用导电胶(5)进行组装，器件制作完成之后，进行引线键合，然后在传感器上表面均匀涂敷一层硅橡胶使其完全密封。
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