[发明专利]MgO薄膜电子束蒸发制备方法及装置无效
| 申请号： | 200910027866.0 | 申请日： | 2009-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN101565813A | 公开（公告）日： | 2009-10-28 |
| 发明（设计）人： | 孙青云;朱立锋;王保平;林青园 | 申请（专利权）人： | 南京华显高科有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/30 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 | 代理人： | 夏 平 |
| 地址： | 210061江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种MgO薄膜电子束蒸发制备方法及装置，它包括至少一个MgO薄膜电子束蒸发装置，安装在真空室(12)内，它包括成膜速率调整装置(101)、坩埚(301)、蒸发角度控制装置(121)和电子枪(501)，各成膜速率调整装置(101)的一端安装在真空室(12)的顶部，另一端与相应的所需制备MgO薄膜的玻璃基板相连，在玻璃基板的正下方安装有用于盛放MgO原料的坩埚(301)，蒸发角度控制装置(121)安装在坩埚(301)上，电子枪(501)安装在坩埚(301)的下方。本发明具有工艺稳定性高、设备利用率高、减少对真空系统的污染和降低清洗衬板的成本的优点。 | ||
| 搜索关键词： | mgo 薄膜 电子束 蒸发 制备 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种MgO薄膜电子束蒸发制备方法，其特征是它包括以下步骤：a.将基板放置在蒸发源的正上方，设置成膜速率调整装置(101)调节基板与蒸发源的距离范围是30-60cm；b.调节蒸发源上的蒸发角度控制装置(121)使得蒸发角在50°-130°范围内，调整好后，打开真空镀膜机排气；c.镀膜机排气完毕，真空度达到1.0×10-3Pa后，打开电子枪电源(601)使电子枪(501)发射电子束对蒸发源的MgO原料进行蒸发，同时打开氧气引入管道控制氧气通入的方向对已真空的室内通入10-200Sccm的氧气；d.MgO原料蒸发的粒子从蒸发源发射出来，当蒸发粒子碰到基板时，冷却形成MgO薄膜。
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