[发明专利]一种PIN型核电池及其制备方法无效
申请号: | 200910030430.7 | 申请日: | 2009-04-10 |
公开(公告)号: | CN101527175A | 公开(公告)日: | 2009-09-09 |
发明(设计)人: | 陆敏 | 申请(专利权)人: | 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
主分类号: | G21H1/06 | 分类号: | G21H1/06;H01L21/205;H01L21/283 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人: | 陈忠辉 |
地址: | 215125江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种PIN型核电池及其制备方法,通过两次MOCVD外延和一次HVPE外延的复合外延技术生长获得衬底-n型GaN掺杂层-绝缘层-p型GaN掺杂层结构的PIN器件材料结构,再使用半导体微加工工艺溅射生成对应的接触电极,制备形成基本的电池器件,并将同位素耦合到p型接触电极上,封装制备完成核电池。由于核电池的寿命取决于同位素的半衰期,故而本发明可以灵活使用防护简单的同位素种类(纯β同位素),大大提高了核电池的能量转换效率和能量密度(能量容积),延长了核电池的使用寿命,同时也为核废料变废为宝、合理利用创造了有效途径。 | ||
搜索关键词: | 一种 pin 核电 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种PIN型核电池,其特征在于:电池底部Al2O3衬底表面设有n型掺杂层,n型掺杂层表面设有绝缘层,且在绝缘层表面设有表面积小于n型掺杂层的p型掺杂层,而两个接触电极分别设置在对应的n型掺杂层和p型掺杂层表面上,并在p型接触电极表面设有相同表面积的纯β同位素层,其中n型掺杂层是掺杂有硅且掺杂浓度介于1×1018/cm3~1×1019/cm3的GaN层;而p型掺杂层是掺杂有镁且掺杂浓度介于1×1019/cm3~1×1020/cm3的GaN层。
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